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CGM-2F混氣系統(tǒng)2路浮子
產(chǎn)品概述：
CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng)，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機，小型PECVD系統(tǒng)等。
浮子流量計：兩個浮子流量計可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min
混氣罐：內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣
機械壓力表（混氣罐）：-0.1-0.15 MPa
關鍵和閥門：
·采用ss304不銹鋼
·三管件接口直徑為1/4”（接管可選聚四氟或不銹鋼）
外形尺寸：340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
可選：
·CVD或者PECVD
·液相氣體發(fā)生器
·1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)--OTF-1200X-S50-2F
·Plasma等離子清洗
凈重：約10 Kg
京公網(wǎng)安備 11011502003124號
