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產(chǎn)品資料

小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號: GSL-1700X-SPC-2
產(chǎn)品展商: 合肥科晶
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀可以設(shè)定程序,準(zhǔn)確控制溫度200oC~1500oC(或者1200oC~1700oC),樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜; GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。


小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀  的詳細(xì)介紹

GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品概述:

GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀,可以設(shè)定程序,準(zhǔn)確控制溫度200oC~1500oC(或者1200oC~1700oC),樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

結(jié)構(gòu)&特點(diǎn):

l  真空腔體為直徑6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品

l  安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺,并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻

l  采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,*高溫度可達(dá)到1500℃,并且配用專用氧化鋁舟,可裝入樣品

l  準(zhǔn)確控溫:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1 

l  氣體流量端口和閥門內(nèi)置用于腔室凈化和CVD可能性

基本參數(shù):

l  溫度:*高1500℃(1200℃以上<1h

l  建議升溫速率:≤20/ min(需根據(jù)工藝調(diào)整)   

l  熱偶:B型或者S型熱偶

l  電源:AC220V,50Hz

l  *大:6KW

溫控及加熱源:

采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,并且配有專用的氧化鋁坩堝,熱電偶安裝在坩堝底部,以便于溫度測量和控制

·  采用S型熱電偶(工作溫度為200-1500℃)

·  可選B型熱電偶(工作溫度為1200-1700℃) 

·  安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1oC(如圖2 

·  溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以秒為單位,建議將升溫/降溫速率限制在1200oC以下0.3oC/s20oC/ min),在1200 - 1500oC限制到0.15oC/s10oC/min 

儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝

樣品臺:

·  儀器頂部安裝有樣品臺,直徑為Φ50mm,并設(shè)置有擋板,方便控制蒸發(fā)鍍膜時(shí)間 

·  樣品臺可旋轉(zhuǎn),增加鍍膜均勻性 

·  樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)

進(jìn)氣口:

·  進(jìn)氣接口為1/4NPS,可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 

·  進(jìn)氣口安裝有一針閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量 

·  程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀-GSL-1700X-EV4

·  儀器中配有鎢絲籃及氧化鋁坩堝,并用戶可額外選購鎢絲籃及氧化鋁坩堝

真空計(jì)(可選):可選購一數(shù)顯防腐真空計(jì),測量范圍為:3.8x10-5-1125Torr

膜厚檢測儀(可選):

·  可在本公司選購精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在濺射儀上,可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜的厚度,分辨率為0.10 ?

·  LED顯示屏顯示,同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

·  同時(shí)可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD

真空系統(tǒng):

·  設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵 

·  采用渦旋分子泵真空可達(dá)1.0E-5Torr,極限真空度可達(dá)4.0E-6Torr 

·  雙極旋片真空泵或干泵,可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr 

·  真空度達(dá)到10-2torr時(shí),可蒸發(fā)一些貴金屬,參考材料金和鉑,也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料,可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.) 

·  高真空度可達(dá)1.0E-5Torr(采用渦旋分子泵),此時(shí)可蒸發(fā)對氧敏感的材料,參考材料Al. Mg, Li,分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)

·  (*高可測量真空度為1.0E-7Torr 

·  可在本公司選購各種真空泵和真空計(jì)

·  可選購一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染

外形尺寸:490mm*330mm*560mm

質(zhì)量認(rèn)證:所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

使用提示:

·  為了獲得高真空度,可采用以下做法

1)使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕,并用酒精擦洗

2)抽真空時(shí),用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃,氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃,保持2小時(shí) 

·  此款蒸鍍儀可以放入到手套箱里操作,用于蒸鍍一些在常溫下對氧氣敏感的材料,比如金屬Li等,可在本公司選購開啟式手套箱VGB-6

使用注意事項(xiàng):

·  使用溫度高于1300℃時(shí),保溫時(shí)間不可大于1小時(shí),否則會損壞密封圈

·  當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時(shí),請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱

·  當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí),不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵,只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí),才可放氣或關(guān)閉真空泵 

·  蒸鍍電流不宜大于40A 

·  如誤將控溫儀表設(shè)為手動狀態(tài),程序?qū)⒉荒苷_\(yùn)行 

·  此設(shè)備儀表程序?yàn)槊耄?span>200℃之前升溫速度不宜大于0.5/S 

·  如果用戶選購了STC-2型薄膜測厚儀,在選用取樣片時(shí)請按:鍍純金屬時(shí)用金取樣片,鍍合金時(shí)用銀取樣片 

·  鎢絲籃必須在真空狀態(tài)下(<5Pa才能通電加熱,否則會被氧化)

 

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主營產(chǎn)品:

英國百靈達(dá),美國TSI,大氣粉塵監(jiān)測儀,室內(nèi)空氣品質(zhì)儀,BOD分析儀,哈希DR6000,便攜式溶氧儀,激光粒子計(jì)數(shù)器,大電流電化學(xué)工作站,PFXi-195自動色度儀,自動色度儀,海信超低溫冰箱,德國WTW,電池測試系統(tǒng),奧立龍電極

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